X射線光電子能譜，簡稱XPS,別稱ESCAX射線光電子能譜學是近四十年來發展起
來的一門綜合性學科。它與多種學科相互交叉，融合了物理學，化學，材料學，真空電
子學，以及計算機技術等多學科領域。現代X射線光電子能譜學已經發展為一門獨
立的，完整的學科。它是研究原子，分子和固體材料的有力工具。
優點:(1)可測除H、He以外的所有元素。
(2)亞單層靈敏度;探測深度1~20單層，依賴材料和實驗參數。
(3)定量元素分析。
(4)優異的化學信息，化學位移和伴峰結構與完整的標準化合物數據庫的聯合使用。
(5)分析是非結構破壞的;X射線束損傷通常微不足道。
(6)詳細的電子結構和某些幾何信息。
缺點:
(1)典型的數據采集相對較慢，部分原因是由于XPS通常采集了更多的細節信息。
(2)使用Ar離子濺射作深度剖析時，不容易在實際濺射的同時采集XPS數據。
(3)橫向分辨率較低，15u(小面積)， 3μ(成像)。
